電子級全氟-1-丁烷磺酸間甲基二苯基磺酸鹽是一種高純度的磺酸鹽類化合物，專為半導(dǎo)體和電子材料應(yīng)用設(shè)計。該化合物由全氟-1-丁烷磺酸根與間甲基二苯基磺酸陽離子組成，具有出色的化學(xué)穩(wěn)定性和優(yōu)異的熱性能。作為一種高效的光酸生成劑（PAG），該產(chǎn)品在深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝中廣泛應(yīng)用，特別適合用于高分辨率和高靈敏度的光刻膠配方，能顯著提升圖形保真度和顯影效果。

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【物理性質(zhì)】

1.基本性質(zhì)

分子式：C₂₅H₂₁F₉O₃S₂

分子量：604.08 g/mol

外觀：白色至淺黃色粉末

純度：≥99.5%

2.溶解性

易溶于極性有機溶劑，如乙腈、丙酮和二甲基亞砜（DMSO）。

不溶于水，但在有機溶劑體系中表現(xiàn)出良好的溶解性和穩(wěn)定性。

3.熱穩(wěn)定性

熱分解溫度較高（＞250°C），適合用于高溫光刻和苛刻的加工條件。需存放于干燥、避光環(huán)境，避免長時間暴露在潮濕空氣中。

【應(yīng)用領(lǐng)域】

1.光酸生成劑（PAG）

作為先進(jìn)光刻膠中的光酸生成劑，在曝光過程中能迅速生成強酸，從而促進(jìn)光刻膠的顯影反應(yīng)。在深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝中，表現(xiàn)出優(yōu)異的靈敏度和分辨率，適用于下一代芯片制造。

2.光刻膠和抗蝕劑配方

用于高性能光刻膠和抗蝕劑配方中，能夠提升材料的光敏性能和化學(xué)穩(wěn)定性。在微細(xì)加工和高分辨率圖形形成中，提供卓越的邊緣精度和抗蝕刻性能。

3.電子材料添加劑

在電子材料領(lǐng)域作為添加劑，改善薄膜材料的熱穩(wěn)定性和機械強度，適用于高溫和苛刻環(huán)境下的應(yīng)用。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、顯示器生產(chǎn)及其他高精度電子器件的開發(fā)。

電子級全氟-1-丁烷磺酸間甲基二苯基磺酸鹽以其優(yōu)越的化學(xué)和熱性能，為現(xiàn)代光電子和半導(dǎo)體制造工藝提供了重要支持。